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上記作動体13の基端部には、上記ハウジング12によって構成されるシリンダ構造12sの内部に配置され、上記流体供給口12pから供給される流体により生ずる流体圧を受ける受圧部13dが設けられる。図示例では、受圧部13dは、筒形状の作動体13の軸線方向基端側の端面により構成される。上記受圧部13dから軸線方向先端側に向かう作動体13の外面部分には、上記シリンダ構造12sの内面(軸線10xに沿った内面部分)と軸線方向に移動可能に摺接するシリンダ摺接部13sが設けられる。シリンダ摺接部13sと上記シリンダ構造12sの内面との間にパッキンなどの変形可能なシール部材13iが介在することにより、作動体13のシリンダ摺接部13sはシリンダ構造12sに対して気密に構成される。

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上記制御部101は、種々の構成を採ることができる。例えば、MPU(マイクロプロセッサユニット)によって実行されるハンドリング装置100の動作プログラムによって、制御部101が各部を制御するように構成してもよい。この動作プログラムは、上記検出信号Ss、Sc、Sd、Stによってハンドリングユニット10の状況を把握し、この状況に応じて、圧力調整器P1,P2の圧力値、開閉弁V1、V2の開閉状態、ユニット駆動系を含む上記駆動部M1,M2,・・・,Mnを制御する。上記動作プログラムは、制御部101において、以下の各処理を実行する機能実現手段100A、100B、100C、100Dなどを構成する。

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各弾性変形部11bの軸線方向先端側には、フィンガー部11cが接続される。フィンガー部11cは軸線10xに向いた把持面11gを備える。なお、図示例では、把持面11gは、軸線10xを中心とする円弧筒状の内周面(中心角が120度弱)で構成されるが、これに限定されず、図示しない把持対象物に対応するものであれば、楕円状、平坦状などの任意の内面形状であってもよい。フィンガー部11cの外面上には、軸線方向先端側に向いた係止段部11dが設けられるとともに、この係止段部11dの軸線10xの方向の基端側(図示右側、以下、単に「軸線方向基端側」という。)には、軸線方向基端側に斜めに向いて傾斜した円錐面状の被動面11tが、各弾性変形部11b及びフィンガー部11c毎にそれぞれ設けられる。さらに、この被動面11tの一部(一つ)には、軸線10xに沿って延びる、外周側に開放された規制溝11pが設けられる。

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最初に、機能実現手段100Aにおける処理内容を説明する。この機能実現手段100Aは、流体供給源102の供給する流体の流体圧を制御することにより、コレット11のフィンガー部11cの把持力を制御する手段である。コレット11のフィンガー部11cによる把持対象物Pの把持力は、流体圧が受圧部13dに加わることによって生ずる作動力が作動体13に加わり、この作動体13に加わる作動力と、作動ばね14の弾性復元力との差によって定まる駆動力が駆動部13cから被動部11tに与えられることにより、フィンガー部11cによる把持対象物Pの把持力が定まる。このため、上記流体圧を圧力調整器P1により調整することにより、上記把持力を適宜の値に調整し、設定したり、変化させたりすることができる。流体圧の調整は、制御部101の制御信号Rp1によって行うことができる。このとき、作動体位置検出器S1の検出信号Ss、把持態様検出器S3-S5の検出信号Sd、又は、把持対象物検出器S6の検出信号Stの少なくともいずれか一つに基づいて、制御部101が制御信号Rp1を設定し、上記流体圧を変化させる。ここで、以下に説明する検出信号Sdの他に、検出信号Ssからは上述のように把持対象物の把持寸法の大小を推定できるので、把持寸法の大小に適した把持力に調整することが可能になる。また、検出信号Stからは把持対象物の硬さを推定できるので、この硬さに適した把持力に調整することが可能になる。

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